蔡司猎户座NanoFab

ORION NanoFab是一种三合一多束离子显微镜，可用于10nm以下的纳米结构，具有速度和精度。ORION NanoFab是世界上唯一一个使用集成在单一仪器中的镓、氖和氦离子束覆盖微加工到纳米加工应用的完整范围的系统。

使用氖和氦离子束创建精细的亚10纳米结构，要求极高的加工保真度。

无论您的应用是使用溅射、气致蚀刻或沉积或光刻去除材料，ORION NanoFab在10纳米以下的制造中具有速度和轻松的优势。

ORION NanoFab的成像分辨率为0.5 nm，在您用于制造的相同仪器中生成样品的高分辨率图像。

与fe - sem获得的图像相比，通过具有5到10倍的景深的图像获得新的见解。