蔡司MERLIN场发射扫描电子显微镜

使用蔡司梅林FE-SEM研究纳米材料，半导体样品，矿物，钢或合金的应用范围特定的选择。

使用SEM/AFM(原子力显微镜)混合选项，并在原子分辨率上获得半导体和纳米材料样品的信息。使用ATLAS大面积绘图模块绘制大样本区域，用于半导体结构的设计验证。探索非导电样品，如矿物、陶瓷、玻璃和聚合物，由于局部可变压力的电荷补偿，在束流电压、检测和分析方面没有妥协。

利用实时3DSM成像模块，方便地了解MEMS器件、纳米结构、硬度测量用压痕、法医调查用划痕的形貌和表面粗糙度。独特的透镜设计使磁性样品成像不失真。

ZEISS MERLIN完整的检测系统与能量选择背散射(EsB)对轴检测是理想的适合揭示纳米复合材料，聚合物，高强度钢和半导体结构的成分细节。